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微就是小，納就是小到納米級(jí)別，應(yīng)用：CPU、手機(jī)CPU、各種微電子芯片（銀行卡、公交卡，手機(jī)sim卡，耳機(jī)里的聲音處理芯片，等等，還有U盤等各種基于硅材料的半導(dǎo)體存儲(chǔ)設(shè)備）制作材料主要是硅，硅材料資源比較豐富，制備工藝成熟；其他應(yīng)用方向也有用化合物半導(dǎo)體的。
微納器件一般以微納光學(xué)元件為主 ，基本上以納米為計(jì)算單位的器件都可稱為微納器件。
對(duì)于此行業(yè)來說，清洗是少不了的一道工序。超聲波清洗機(jī)就是被廣泛運(yùn)用到了各行各業(yè)起到了較好的清洗作用。
而被清洗的產(chǎn)品有大有小、量多量少、簡單復(fù)雜。其中就需先了解下尺寸大小，對(duì)于微納的清洗也是一樣的。威固特VGT-1509FH超聲波清洗機(jī)的內(nèi)槽尺寸是L280×W390×H260(mm)，材質(zhì)選用的是進(jìn)口SUS316板，δ2.0mm。
此臺(tái)超聲波清洗機(jī)的槽體每槽設(shè)四面溢流口，溢水槽寬35 mm，各槽皆為獨(dú)立循環(huán)槽，由循環(huán)泵將洗劑由儲(chǔ)液箱抽出經(jīng)過濾后再運(yùn)回清洗槽，即子母槽循環(huán)。
儲(chǔ)液箱結(jié)構(gòu)的優(yōu)勢(shì)則是由隔板分成兩腔，分油后的清潔溶液經(jīng)循環(huán)泵重新抽入清洗槽，實(shí)現(xiàn)自我循環(huán)，提高溶液的利用率，而分離后的油排放到總排管。
VGT-1509FH超聲波清洗機(jī)的優(yōu)勢(shì)還是顯而易見的：
1、槽面設(shè)齒狀溢流結(jié)構(gòu)，純水由純水預(yù)熱箱進(jìn)入。槽外貼保溫棉厚10mm。
2、槽體上部設(shè)抽風(fēng)小孔，將溢出水蒸汽抽走，防止水汽再次附著于提出的產(chǎn)品上。
3、在烘干槽頂部加設(shè)FFU系統(tǒng)，有效減少環(huán)境對(duì)洗凈效果的影響。（工件加溫后，對(duì)灰塵的附著力增強(qiáng)，F(xiàn)FU形成負(fù)壓可有效減少環(huán)境對(duì)洗凈效果的影響，從而從根本上提高產(chǎn)品合格率）。
4、每個(gè)烘干槽配置一套氣缸，氣缸帶動(dòng)產(chǎn)品一起運(yùn)動(dòng)，形成密封蓋。
5、籃子的下面放置一支撐結(jié)構(gòu)，以方便風(fēng)源更加通透作用于工件。
6、在烘干槽正上方的機(jī)架頂部設(shè)置一個(gè)FFU層流送風(fēng)單元。由上往下吹風(fēng)形成負(fù)壓風(fēng)，致使工件加熱后附著物不易粘附。
7、拋動(dòng)機(jī)構(gòu)：清洗過程中工件作均勻地拋動(dòng)，可以增加工件與液體的摩擦，有利于表面污垢迅速脫落，提高清洗效果。